SHTP Labs làm chủ công nghệ MEMS với những sản phẩm ứng dụng cao

Nghiên cứu công nghệ MEMS tại SHTP Labs

Theo SHTP Labs, giai đoạn 2017-2020, ngành công nghiệp MEMS của TPHCM đã đạt được một số thành quả tích cực, như Dự án “Nghiên cứu hoàn thiện công nghệ MEMS trong việc chế tạo linh kiện cảm biến áp suất ứng dụng xây dựng các module đo mực nước” đã hoàn thiện công nghệ chế tạo cảm biến áp suất, khảo sát và đưa ra lựa chọn thích hợp cho các quy trình công nghệ chế tạo. Dự án chế tạo thành công 100 cảm biến áp suất, ứng dụng vào việc xây dựng hệ thống cảnh báo ngập tại 15 trạm ngập của thành phố.

Bộ cảm biến giám sát mực nước ứng dụng công nghệ MEMS do SHTP Labs nghiên cứu, phát triển

Ông Ngô Võ Kế Thành, Giám đốc SHTP Labs cho biết, sản phẩm có giá thành rẻ hơn so với thiết bị mua của nước ngoài. Khi có tình trạng ngập lụt do triều cường hoặc mưa, hệ thống sẽ tự đo mực nước và truyền dữ liệu về máy chủ. Sau khi phân tích dữ liệu nhận được ở các điểm ngập, phần mềm quản lý dữ liệu sẽ đưa ra thông tin cảnh báo ngập và lộ trình di chuyển cho người dân trên thiết bị di động.

Lắp đặt hệ thống quan trắc ngập sử dụng cảm biến áp suất

SHTP Labs còn triển khai các đề tài Nghiên cứu, thiết kế và chế tạo thiết bị IoT Gateway tích hợp giải pháp bảo mật trên nền tảng IoT ứng dụng thí điểm quan trắc chất lượng không khí tại Khu Công nghệ cao; Dự án “Nghiên cứu mô phỏng, thiết kế và chế tạo thử nghiệm cấu trúc MEMS StrainGauge” hướng tới ứng dụng thử nghiệm trong hệ thống quan trắc sức khỏe cầu đường, đã chế tạo và đóng gói được 20 cảm biến MEMS StrainGauge... \

Được biết SHTP Labs còn là trung tâm R&D có đầy đủ các thiết bị để hoàn thành 1 quy trình chế tạo linh kiện MEMS (công nghệ lõi). Bao gồm: thiết kế và mô phỏng MEMS, thiết kế MASK, chế tạo MASK, các quy trình đồng bộ từ ăn mòn khô (DRIE), quang khắc, CVD... với quy mô pilot trên wafer 4 hoặc 6 inch. Cho đến thời điểm này, SHTP Labs đã có thể sẵn sàng triển khai các sản phẩm về MEMS và hệ thống cung cấp cho thị trường như: cảm biến áp suất kết hợp hệ thống đo mực nước, cảm biến khí và hệ thống quan trắc không khí. Hình thành một đội ngũ nghiên cứu và triển khai mảng MEMS tại trung tâm 1 cách bài bản bao gồm: 4 Tiến sỹ, 6 Thạc sĩ và 4 kỹ sư về mảng công nghệ MEMS cơ dựa trên dạng pizo và MEMS dạng ISFET.

Cũng trong giai đoạn 2017-2020, SHTP Lab đã phối hợp với các đối tác Hà Lan (Công ty FabMax B.V và Trường Đại học Công nghệ Delft – TU Delft); Phòng thí nghiệm GS. Isao Shimoyama, Trường Đại học Tokyo, Nhật Bản; Đại học Griffith – Australia nhằm đào tạo cho các cán bộ khoa học và kỹ sư cho Khu Công nghệ cao, các trường, viện và doanh nghiệp nhà nước tại TPHCM về quy trình từ chế tạo, đóng gói, kiểm định và thương mại hóa linh kiện MEMS trên giáo trình và chuyển giao công nghệ từ các chuyên gia nước ngoài.

Chương trình đã đào tạo được 73 học viên về công nghệ đóng gói linh kiện MEMS; chuyển giao một số quy trình chế tạo linh kiện MEMS tại phòng sạch; công nghệ polymer MEMS...

BÁ TÂN