ASML: Các máy EUV High-NA giá 400 triệu USD sẵn sàng sản xuất chip quy mô lớn

ASML (Hà Lan) là công ty duy nhất trên thế giới chế tạo các máy quang khắc cực tím bước sóng cực ngắn (EUV). Đây là thiết bị then chốt với các nhà sản xuất chip tiên tiến. Theo dữ liệu từ ASML, máy mới sẽ giúp các công ty như TSMC (Đài Loan) và Intel (Mỹ) tạo ra các chip mạnh hơn và hiệu quả hơn bằng cách loại bỏ một số bước tốn kém, phức tạp trong quy trình sản xuất chip.

ASML dự kiến công bố dữ liệu này, một cột mốc quan trọng, tại hội nghị kỹ thuật ở thành phố San Jose (bang California, Mỹ) hôm 27.2, Giám đốc công nghệ Marco Pieters tiết lộ với Reuters.

ASML đã mất nhiều năm để phát triển các máy thế hệ mới đắt đỏ này, trong bối cảnh những hãng chip tìm cách xác định thời điểm hợp lý về mặt kinh tế để bắt đầu sử dụng chúng cho sản xuất hàng loạt.

Khi thế hệ máy EUV hiện tại đang dần chạm đến giới hạn kỹ thuật trong việc sản xuất các chip AI phức tạp, các máy thế hệ mới (được gọi là EUV High-NA) trở nên đặc biệt quan trọng với ngành AI. Máy EUV High-NA hỗ trợ các nhà sản xuất chip thực hiện đúng lộ trình phát triển chip AI nhằm đáp ứng nhu cầu đang tăng vọt.

Theo hãng tin Reuters, máy EUV High-NA của ASML có giá khoảng 400 triệu USD mỗi chiếc, gấp đôi máy EUV ban đầu.

Theo dữ liệu của ASML, các máy EUV High-NA hiện có thời gian ngừng hoạt động hạn chế, đã xử lý được 500.000 wafer silicon với kích thước tương đương chiếc đĩa ăn tối, có thể vẽ các họa tiết cực kỳ chính xác để tạo nên các mạch điện trên chip, Marco Pieters tiết lộ. Ba yếu tố này kết hợp lại cho thấy máy EUV High-NA đã đạt mức độ ổn định và độ chính xác cần thiết, sẵn sàng để các nhà sản xuất chip đưa vào sử dụng trong thực tế.

Wafer silicon là tấm vật liệu bán dẫn rất mỏng, được dùng làm nền để chế tạo chip. Trong quá trình sản xuất, các mạch điện tử siêu nhỏ sẽ được khắc và tạo lớp trực tiếp lên bề mặt wafer silicon. Sau đó, wafer silicon được cắt thành nhiều chip riêng lẻ để lắp vào các sản phẩm như chip nhớ, chip xử lý hay chip AI. Một wafer silicon có thể tạo ra hàng trăm hoặc hàng nghìn chip, tùy kích thước và độ phức tạp của từng loại.

Marco Pieters nói: “Hiện là thời điểm then chốt để đánh giá số lượng các chu kỳ thử nghiệm và cải tiến mà những cỗ máy này đã trải qua”, ám chỉ đến rất nhiều lần kiểm tra và vận hành thử mà khách hàng đã thực hiện để hoàn thiện và xác nhận hiệu suất của máy EUV High-NA.

Dù đã sẵn sàng về mặt kỹ thuật, các công ty sẽ cần từ hai đến ba năm để tiến hành đủ thử nghiệm nhằm tích hợp máy EUV High-NA vào quy trình sản xuất chip.

“Các nhà sản xuất chip hiện đã có đầy đủ kiến thức để đánh giá và chứng nhận những công cụ này”, ông nói.

Marco Pieters cho biết các máy EUV High-NA đang hoạt động ổn định khoảng 80% thời gian và ASML đặt mục tiêu nâng tỷ lệ này lên 90% vào cuối năm 2026.

Dữ liệu hình ảnh mà ASML chuẩn bị công bố đủ để thuyết phục khách hàng thay thế nhiều bước xử lý bằng công nghệ cũ bằng một bước duy nhất sử dụng máy EUV High-NA. Việc các máy EUV High-NA đã xử lý 500.000 wafer silicon cũng giúp ASML khắc phục nhiều vấn đề kỹ thuật trước đây.

Theo ASML, các máy EUV High-NA đã sẵn sàng để TSMC và Intel đưa vào sản xuất chip quy mô lớn - Ảnh: MTG

“Việc bắt kịp ASML gần như là không thể”

ASML hiện nắm khoảng 90% thị phần trong thị trường quang khắc nói chung.

Nhà phân tích Didier Scemama của Bank of America dự đoán ASML sớm sẽ có vị thế gần như độc tôn trong thế hệ EUV tiếp theo. Trong một ghi chú cuối tháng 1, Didier Scemama viết: “ASML đã công nghiệp hóa công nghệ EUV thế hệ mới, thứ mà chúng tôi tin sẽ là nền tảng cho nhiều xu hướng mang tính đột phá trong thập kỷ này”.

Ghi chú trên được đưa ra sau khi báo cáo kết quả kinh doanh của ASML cho thấy lượng đơn đặt hàng trong quý 4/2025 cao hơn gấp đôi so với kỳ vọng của các nhà phân tích.

Javier Correonero, nhà phân tích cổ phiếu tại hãng Morningstar, nói với kênh CNBC rằng quang khắc là “viên gạch nền tảng của mọi chip”. Ông cho biết các máy của ASML đã tham gia vào quá trình sản xuất khoảng 99% số chip bán dẫn trên thế giới.

Tuy nhiên, chính các máy EUV mới là yếu tố then chốt với làn sóng xây dựng hạ tầng AI.

ASML chế tạo hai loại máy EUV:

- Loại khẩu độ số thấp (Low-NA), dùng để sản xuất thế hệ chip AI hiện tại, gồm cả Nvidia Blackwell.

- Loại tiên tiến hơn là khẩu độ số cao (High-NA), hiện được sử dụng trong hoạt động của các công ty đang nghiên cứu và phát triển thế hệ chip tiếp theo.

Cả hai loại máy đều sử dụng laser công suất lớn bắn vào các giọt thiếc nóng chảy trong môi trường chân không, tạo ra plasma phát ra ánh sáng EUV. Ánh sáng này sau đó được dẫn hướng bằng các gương siêu chính xác, phản xạ qua một mặt nạ chứa mẫu thiết kế của một lớp chip, rồi được thu nhỏ và chiếu lên wafer silicon.

TSMC mua những máy này của ASML để sản xuất chip theo hợp đồng cho công ty thiết kế chip như Nvidia. TSMC hiện là hãng sản xuất chip theo hợp đồng lớn nhất thế giới.

Javier Correonero cho biết công ty như Nikon và Canon của Nhật Bản, vẫn xuất xưởng một số máy quang khắc cho các quy trình không quá tiên tiến, là đối thủ “ở rất xa” của ASML.

“Họ là những tập đoàn lớn nhưng chỉ đầu tư một phần rất nhỏ so với những gì ASML thực hiện trong suốt ba thập kỷ. Ở thời điểm này, việc bắt kịp ASML gần như là không thể”, ông nói thêm.

Các máy EUV chiếm phần lớn giá trị đơn đặt hàng của ASML, đóng góp 7,4 tỉ euro (8,8 tỉ USD) trong tổng số 13,2 tỉ euro đơn đặt hàng ròng quý 4/2025. Trong cả năm 2025, ASML đã bán 48 máy EUV, tạo ra doanh thu 11,6 tỉ euro.

Dù ASML không công bố công khai giá bán máy, các nhà phân tích nói với CNBC rằng máy EUV High-NA tiên tiến nhất của hãng có giá từ 320 triệu đến 400 triệu euro (khoảng 375 đến 470 triệu USD). Trong khi đó, máy EUV Low-NA được bán với giá khoảng 220 triệu euro, theo Javier Correonero.

Javier Correonero cho biết các công ty như TSMC, Intel và Samsung đang thử nghiệm EUV High-NA trong môi trường phòng thí nghiệm.

“Khi đã làm quen và kiểm chứng hiệu quả của máy này, các hãng chip sẽ từng bước đưa nó vào dây chuyền sản xuất quy mô lớn. Công nghệ High-NA được dự đoán sẽ bắt đầu được sử dụng rộng rãi trong sản xuất vào khoảng năm 2027-2028 và Intel là công ty đầu tiên triển khai”, Javier Correonero cho hay.

Cổ phiếu ASML đã tăng 36% trong năm 2025 và tiếp tục tăng thêm 24,95% kể từ đầu 2026. Đầu tháng 1, ASML trở thành công ty châu Âu thứ ba đạt mức định giá 500 tỉ USD và hiện vẫn duy trì được thành quả đó.

Các nhà phân tích cho rằng cổ phiếu ASML sẽ tiếp tục tăng, khi những loại chip tiên tiến vẫn giữ vai trò then chốt trong quá trình mở rộng AI.

ASML dự báo doanh thu ròng năm 2026 sẽ đạt từ 34 đến 39 tỉ euro, cao hơn mức 32,7 tỉ euro mà công ty ghi nhận trong 2025.

Sơn Vân