Chùa Tây Phương được xây dựng lần đầu vào thời Cao Biền (865 - 875). Sang niên hiệu Chính Hòa (1680 - 1705), Tây Vương Trịnh Tạc cho sửa lại chùa và xây thêm tam quan. Sau lần trùng tu này, chùa bị phá. Đến triều Tây Sơn, vào hai năm 1788 - 1789, chùa được xây dựng lại trên nền cũ, tọa lạc tại núi Tây Phương, xã Thạch Xá, huyện Thạch Thất, tỉnh Hà Tây (cũ).