Theo phương án sắp xếp đơn vị hành chính cấp xã của thành phố, địa bàn quận Nam Từ Liêm thành lập 4 đơn vị hành chính cơ sở gồm: Từ Liêm, Xuân Phương, Tây Mỗ, Đại Mỗ.