Dự án do nhà khoa học Nikolay Chkhalo dẫn đầu nhằm phát triển các máy quang khắc có năng suất thấp hơn nhưng rẻ hơn so với ASML.
Dự án do nhà khoa học Nikolay Chkhalo dẫn đầu nhằm phát triển các máy quang khắc có năng suất thấp hơn nhưng rẻ hơn so với ASML.